软管式仪器保护专用过滤器
半导体超精密气体过滤器
产品介绍
安装于cylinder cabinet内的VCR接头处、IGS（聚集型气体供应系统）的前段、后段接头处，用于去除稳压器及供给配管中的异物（0.0025~50um）
产品特点
- 优异的流动特性。
- 优异的干燥和气体置换功能。
- 完美的颗粒截留功能。
- 结构紧凑，经济高效。
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