扩散器专用过滤器

半导体超精密气体过滤器

产品介绍

半导体的部分生产过程需要在真空状态下进行,在进入后道工序前,要从真空状态下恢复到大气压下,进行这一步骤的地方叫做LOADLOCK。
高速扩散器专用过滤器可以在由真空恢复到大气压的这一过程中,减少半导体表明异物的附着。

产品特点

  1. 优异的流动特性。
  2. 优异的干燥和气体置换功能。
  3. 完美的颗粒截留功能。
  4. 结构紧凑,经济高效。

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邮箱: 切削工具:E.zf@yshchina.net
半导体部件: E. lqf@yshchina.net

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