Aera PAR7800 series
服务于半导体设备厂商
产品介绍
搭载Multi gas/Multi range功能
IGS(Integrated Gas System)型使用接头
高温型(可对应到85℃) 例)SiCl4
产品特点
- 最大量程可达200L
- 2个通信方式：RS485、模拟量
- 9Bin控制通过软件变更气体种类和流量。
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