产品介绍

控制范围宽0.5%-100%
良好的响应速度0.3-0.5秒
Pressure Insensitive功能
半导体ALD工艺用途。

产品特点

1. 最大量程可达200L
2. 4个通信方式：Ether- CAT、Device- Net、RS485、模拟量
3. 9Bin控制通过软件变更气体种类和流量。
4. 搭载PI功能实现良好的响应速度。