IGS过滤器
半导体超精密气体过滤器
产品介绍
安装在IGS内部，主要用于去除IGS中搭载的元器件中的异物或气体中的异物（0.0025um），目前的主流型号是1.125英寸。
产品特点
- 优异的流动特性。
- 优异的干燥和气体置换功能。
- 完美的颗粒截留功能。
- 结构紧凑，经济高效。
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